Die kompakten Öfen der Baureihe VHT sind als elektrisch beheizte Kammeröfen mit Graphit-, Molybdän oder MoSi2-Beheizung konzipiert. Sowohl durch ihre variablen Beheizungskonzepte als auch durch ihr umfangreiches Zubehör bieten diese Öfen die Möglichkeit, auch technisch anspruchsvolle Kundenprozesse zu realisieren. Der vakuumdichte Prozessbehälter ermöglicht Wärmebehandlungsprozesse entweder unter Schutz- und Reaktionsgasatmosphären oder unter Vakuum, je nach Ausführung bis 10-5 mbar. Ausgestattet mit entsprechender Sicherheitstechnik sind die Öfen auch für den Betrieb mit Wasserstoff geeignet.

Graphit – VHT ../GR

• Einsetzbar für Prozesse unter Schutz- und Reaktionsgasen oder unter Vakuum
• Tmax 1800 °C und 2200 °C
• Graphitfilzisolierung
• Temperaturmessung durch Thermoelement Typ B (Version bis 1800 °C)
• Temperaturmessung durch optisches Pyrometer (Version bis 2200 °C)

Molybdän – VHT ../MO

• Einsetzbar für Prozesse unter hochreinen Schutz- und Reaktionsgasen oder unter Hochvakuum bis 10-5 mbar
• Tmax 1600 °C
• Isolierung aus Molybdänstrahlblechen

MoSi2 – VHT ../KE

• Einsetzbar für Prozesse unter Schutz- und Reaktionsgasen oder an Luft oder unter Vakuum
• Tmax 1800 °C
• Isolierung aus hochreiner Aluminiumoxidfaser

Basisversion VHT (alle Beheizungskonzepte)

• Standardgrößen 8, 40 oder 100 Liter Ofenraum
• Allseitig wassergekühlter Prozessbehälter aus Edelstahl mit temperaturbeständigen O-Ringen abgedichtet
• Gestell aus stabilen Stahlprofilen, servicefreundlich durch leicht abnehmbare Edelstahl-Verkleidungsbleche
• Gehäuse des Modelles VHT 8 auf Rollen zum einfachen Verfahren des Ofens
• Kühlwasserverteiler mit Hand-Absperrhähnen in Vor- und Rücklauf, automatische Durchflussüberwachung, offenes Kühlwassersystem
• Einstellbare Kühlwasserkreisläufe mit Durchfluss- und Temperaturanzeige und Übertemperatursicherungen
• Schaltanlage und Controller im Gehäuse integriert
• SPS-Regelung H 700 mit übersichtlichem 5,7"-Bedienpanel (Touchpanelausführung) zur Programmeingabe und Visualisierung, 10 Programme à 20 Segmente speicherbar
• Temperaturwählbegrenzer mit einstellbarer Abschalttemperatur für thermische Schutzklasse 2 gem. EN 60519-2
• Manuelle Bedienung der Prozessgas- und Vakuumfunktionen
• Manuelle Begasung für ein Prozessgas (N2 oder Ar) mit einstellbarem Durchfluss
• Bypass mit Handventil zum schnellen Auffüllen oder Fluten des Ofenraumes
• Hand-Gasauslass mit Überströmventil (20 mbar relativ)
• Einstufige Drehschieberpumpe mit Kugelhahn zum Vorevakuieren und für Wärmebehandlungen im Grobvakuum bis 5 mbar
• Manometer zur visuellen Drucküberwachung

Zusatzausstattung

• Gehäuse optional teilbar zum Einbringen durch kleine Türöffnungen
• Manuelle Begasung für zweites Prozessgas (N2 oder Ar) mit einstellbarem Durchfluss und Bypass
• Molybdän- bzw. CFC-Graphitretorte mit direkter Begasung für saubere Atmosphäre und verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit im Ofenraum
• Chargenthermoelement mit Anzeige
• Zweistufige Drehschieberpumpe mit Kugelhahn zum Vorevakuieren und für Wärmebehandlungen im Vakuum bis 10-2 mbar
• Kühlstation mit geschlossenem Kühlwasserkreislauf

Durch die Verwendung von Automatik-Ventilen für Prozessgas- bzw. Abluftmanagement und der leistungsfähigen Regelung H 3700 kann der gesamte Wärmebehandlungsprozess vollautomatisch ausgeführt werden. Die Eingabe aller Prozessdaten (Temperaturen, Heizraten, Begasung und Vakuum) erfolgt komfortabel über ein großes grafisches 12"-Bedienpanel. Der Anlagenstatus inkl. aller prozessrelevanten Daten wird auf einem Prozessleitbild übersichtlich visualisiert. Alle Ventile und die Vakuumpumpe können darüber ebenfalls manuell angewählt werden. Die Anlage verfügt über ein automatisches Vor- und Nachprogramm zur Inertisierung des Ofenraumes und eine Lecktestautomatik.

• Ausführung wie Basisversion VHT, plus:
• Automatische Begasung für ein Prozessgas (N2 oder Ar) mit einstellbarem Durchfluss
• Bypass zum schnellen Auffüllen oder Fluten des Ofenraumes
• Automatischer Gasauslass mit Faltenbalgventil und Überströmventil (20mbar)
• Einstufige Drehschieberpumpe mit Faltenbalgventil zum Vorevakuieren und für Wärmebehandlungen im Grobvakuum bis 20 mbar
• Druckaufnehmer für Absolut- und Relativdruck
• Regelung mit H 3700 (10 Programme / 20Segmente)
• Bedienung mit 12"-Grafik-Bedienpanel (Touchpanelausführung)

Zusatzausstattung

• MFC-Durchflussregler für wechselnde Volumenströme und Erzeugung von Gasgemischen (mit zweitem Prozessgas)
• Ofendruckregelung mit stellungsgeregeltem Abluftventil (Partialdruckregelung)
• Abgasfackel (elektrisch- bzw. gasbeheizt) zur Nachverbrennung prozessbedingter Abgase
• Wassergekühlter Abgaskühler
• Kondensatfallen zur Abscheidung großer Bindermengen
• Zweistufige Drehschieberpumpe mit Faltenbalgventil zum Vorevakuieren und für Wärmebehandlungen im Vakuum bis 10-2 mbar
• Pumpenstand mit Turbo-Molekularpumpe mit Absperrschieber zum Vorevakuieren und für Wärmebehandlungen im Vakuum bis 10-5 mbar (nur für Molybdän-Ausführung) inkl. elektrischem Druckaufnehmer und Vorpumpe
• PC-Steuerung über NCC mit entsprechenden Dokumentationsmöglichkeiten und der möglichen Anbindung an kundenseitige PC-Netzwerke

Bei der Verwendung von Wasserstoff als Prozessgas werden unsere Anlagen zusätzlich mit der erforderlichen Sicherheitstechnik ausgerüstet und geliefert. Als sicherheitsrelevante Sensoren kommen nur bewährte Bauteile mit entsprechender Zertifizierung zum Einsatz. Die Öfen werden über eine fehlersichere Steuerung (S7-300F/Sicherheitssteuerung) geregelt. Die Steuerung und Dokumentation erfolgt mittels NCC (siehe Seite 42).

Für den sicheren Betrieb unter Wasserstoff kann zwischen zwei temperaturabhängigen Konzepten gewählt werden:

• Partialdruckbetrieb: H2-Einleitung bei geregeltem Unterdruck (Partialdruck) im Prozessbehälter ab 750 °C Ofenraumtemperatur
• Atmosphärenbetrieb: H2-Einleitung bei geregeltem Überdruck (50 mbar relativ) im Prozessbehälter ab Raumtemperatur

Automatikversion VHT Wasserstoffbetrieb

• Ausführung wie Automatikversion VHT ohne Wasserstoffbetrieb plus:
• Redundante Prozessgasventile für Wasserstoff
• Überwachte Vordrücke aller Prozessgase
• Bypass zum sicheren Spülen des Ofenraumes mit Inertgas
• Drucküberwachter Notflutbehälter mit automatisch öffnendem Magnetventil
• Abgasfackel (elektrisch- bzw. gasbeheizt) zur H2-Nachverbrennung